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向水中噴注臭氧是用臭氧化氣來完成的，工藝氣體的起始濃度在4.17×10-4mol/L（20g/m3）數量級。假設一般接觸裝置的實際效率90%，尾氣中臭氧濃度可能達到4.17×10-5mol/L（2g/m3）。在重復噴射或預臭氧化中，尾氣中的最終損耗能達到4.17×10-6~1.04×10-5mol/L（0.2~0.5g/m3）的程度。
臭氧的極限值（TLV）為4.46×10-9mol/L，或大約0.2mg/m3，而當停留時間短于30min時，可允許1.25×10-8mol/L（0.6mg/m3）的濃度。臭氧的毒性特別是環境濃度高于TLV或最大容許濃度值（MAC）的毒性另有文獻評論。
含臭氧尾氣處理的另一問題是同臭氧在大氣中可能產生的影響有關。在大多數地區，“天然”大氣臭氧濃度隨緯度在（0.179~1.79）×10-8mol/L間變化，平均地面濃度在8.93×10-10mol/L數量級。季節變化對這些濃度有重大影響。晝夜因素也影響地面臭氧濃度，人口稠密區最高臭氧濃度一般是在日沒時觀測到的。
根據最近有關臭氧在環境大氣中穩定性的研究，臭氧在霧中的半衰期約為4~5h.，此問題同因臭氧處理廠至住宅區的距離引起的爭議有關。
臭氧嗅味的檢測極限在（0.893~2.23）×10-9mol/L的范圍內。濃度達到1.34×10-9mol/L以前人的工作能力是不受抑制的，在此濃度下的申訴仍屬于主觀上的。已有關于暴露在（0.893~1.34）×10-9mol/L臭氧后無有害影響的報道。不危害植物生長的地面臭氧限制濃度為4.46×10-8。
有關操作區和設備的安全預防措施也必須加以考慮，文獻中已有評論。這些措施包括工作室的適當通風，與接觸池水連接嚴實，以及用來查出從連接到鋼筋混凝土接觸池的電纜和管路泄露的專用設備。必須特別強調的是要采取適當措施將尾氣中的臭氧分解，同時還必須注意，為了保護檢測設備的電子器件，工作場所的通風也是必要的。
